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分子泵,真空器,电源,主要有:系列分子泵、离子泵等高真空获得产品;系列氦质谱检漏仪等真空检测产品;超高真空环境模拟设备、镀膜生产线等真空应用设备;扫描电子显微镜、四极质谱、13C呼气质谱仪等分析仪器。产品广泛应用于基础科学研究、现代高新技术产业工艺过程、先进装备制造、新能源材料、节能**等领域。